Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хурдацтай хөгжлийн хамт салбарын цар хүрээ хурдацтай нэмэгдэж, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж нь нарийвчлал, нарийн төвөгтэй байдал руу үргэлжлүүлэн хөгжиж байна. Керамик нь өндөр хатуулаг, өндөр уян хатан модуль, өндөр элэгдэлд тэсвэртэй, өндөр дулаалга, зэврэлтэд тэсвэртэй, бага тэлэлт гэх мэт давуу талуудтай тул цахиурын өнгөлгөөний машин, эпитаксиал/исэлдэлт/диффузийн дулааны боловсруулалтын төхөөрөмж, литографийн машин, тунадасжуулалтын төхөөрөмж, хагас дамжуулагч сийлбэрийн төхөөрөмж, ионы суулгацын машин болон бусад тоног төхөөрөмжийн эд анги болгон ашиглаж болох тул нарийн керамик эд ангиудын судалгаа, хөгжүүлэлт, үйлдвэрлэл нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хөгжилд шууд нөлөөлдөг. Үүнийг бэлтгэх техникийн шаардлага улам бүр нэмэгдэж байна.
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл, 99.7%-99.9% хөнгөн цагааны исэл.
Өндөр механик бат бөх, өндөр элэгдэлд тэсвэртэй, өндөр цахилгаан тусгаарлагч, өндөр химийн тогтвортой байдал, сайн дулаанд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй. Одоогийн байдлаар керамик нунтаглах диск нунтаглах хагас дамжуулагч цахиурын вафли ашиглах нь хамгийн дээд зэргийн бөгөөд хамгийн сүүлийн үеийн нунтаглах арга юм. Зүссэн цахиурын вафлиг нунтаглахад хоёр талт нунтаглах процессыг ашигладаг бөгөөд нунтаглах процессыг (дискний материал, нунтаглах шингэн, нунтаглах даралт ба нунтаглах хурд гэх мэт) сайжруулснаар нунтаглах вафлийн чанарыг сайжруулдаг. Ялангуяа цутгамал төмрийн хавтангийн оронд керамик хавтанг ашиглах нь вафлийн гол гадаргуу дээр сорви эсвэл бохирдлоос үүдэлтэй нунтаглахаас зайлсхийх, металл ионуудын нэвтрэлтийг багасгах, цахиурын дараагийн боловсруулалтыг багасгах, дараагийн процессын (зэврэлт) хугацааг богиносгох, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг сайжруулах, цахиурын боловсруулалтын алдагдлыг бууруулах, цахиурын ашиглалтыг эрс сайжруулах боломжтой.
Өндөр хөнгөн цагааны өнгөлгөөний хавтанхагас дамжуулагч, газрын тос, химийн, фотоволтайк, шингэн болор болон механик эд анги, электрон эд анги, богино долгионы индукцийн диск, тусгаарлагч материал болон бусад эд анги, хагас дамжуулагч төхөөрөмж, вакуум тоног төхөөрөмж, шингэн болор үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж болон бусад эд ангиудад ашиглагддаг. Том хэмжээтэй, өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамик нь индранил үйлдвэрлэл болон хагас дамжуулагч чипийн үйлдвэрлэлд чухал хэрэглээний ач холбогдолтой. Энэ нь индранил болон хагас дамжуулагч цахиурын вафлины химийн механик өнгөлгөө (CMP)-ийн гол тулгуур ба хэрэглээний материал юм. Том хэмжээтэй, өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамикийг LCD-ийн хөнгөн цагаан суурь болгон ашиглаж болно.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 6-р сарын 27