Хөнгөн цагааны исэл керамик вафер өнгөлөх болон индранил өнгөлөх дискийг хагас дамжуулагч, алмазан өнгөлөх гэх мэтэд ашигладаг.
Үйл явц: CMP химийн механик өнгөлгөө, механик өнгөлгөө, нарийн өнгөлгөө гэх мэт бүх төрлийн өнгөлгөө, давхцуулах үйл явц.
Өндөр цэвэршилт ба химийн бат бөх чанар
Өндөр механик бат бэх ба хатуулаг
Зэврэлтээс хамгаалах өндөр эсэргүүцэл
Өндөр хүчдэлийн эсэргүүцэл
1700ºC хүртэл өндөр температурт тэсвэртэй
Маш их үрэлтэд тэсвэртэй гүйцэтгэл
Маш сайн дулаалгын гүйцэтгэл
180, 360, 450, 600 мм гэх мэт бүх төрлийн хэмжээтэй
| Бүтээгдэхүүний нэр | 99.7 өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэлтэй керамик өнгөлгөөний диск |
| Материал | 99.7% хөнгөн цагаан исэл |
| Хэвийн хэмжээ | D180, 360, 450, 600мм, захиалгат хэмжээг хүлээн авна. |
| Өнгө | Зааны ясан өнгөтэй |
| Аппликейшн | Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд вафли ба индранил CMP процесс |
| Хамгийн бага захиалга | 1Pic |
| Нэгж | 99.7 Хөнгөн цагааны исэлтэй керамик | ||
| Ерөнхий өмч | Al2O3 агууламж | жингийн % | 99.7-99.9 |
| Нягтрал | gm/cc | 3.94-3.97 | |
| Өнгө | - | Зааны ясан өнгөтэй | |
| Ус шингээлт | % | 0 | |
| Механик шинж чанарууд | Гулзайлтын бат бэх (MOR) 20 ºC | Мпа(psix10^3) | 440-550 |
| Уян хатан модуль 20ºC | GPa (psix10^6) | 375 | |
| Викерсийн хатуулаг | Gpa (кг/мм2) R45N | >=17 | |
| Гулзайлтын бат бэх | GPA | 390 | |
| Суналтын бат бэх 25ºC | МПа(psix10^3) | 248 | |
| Хугарлын бат бөх чанар (KI c) | МПа* м^1/2 | 4-5 | |
| Дулааны шинж чанарууд | Дулаан дамжуулалт (20ºC) | W/mk | 30 |
| Дулааны тэлэлтийн коэффициент (25-1000ºC) | 1x 10^-6/ºC | 7.6 | |
| Дулааны цохилтын эсэргүүцэл | ºC | 200 | |
| Хамгийн их хэрэглээний температур | ºC | 1700 он | |
| Цахилгаан шинж чанарууд | Диэлектрик хүч чадал (1MHz) | ac-kv/mm(ac v/мил) | 8.7 |
| Диэлектрик тогтмол (1 МГц) | 25ºC | 9.7 | |
| Эзлэхүүний эсэргүүцэл | ом-см (25ºC) | >10^14 | |
| ом-см (500ºC) | 2×10^12 | ||
| ом-см (1000ºC) | 2×10^7 |
Бид захиалгат захиалга хүлээн авдаг.
Хэрэв та бүтээгдэхүүний талаар илүү ихийг мэдэхийг хүсвэл бидэнтэй холбоо барина уу, бид танд хамгийн тохиромжтой бүтээгдэхүүн, хамгийн сайн үйлчилгээг санал болгоно!