Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд материалын сонголт нь процессын чанар болон бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Өндөр хүчин чадалтай керамик материал болох 99.7% хөнгөн цагааны исэл агуулсан керамик өнгөлгөөний хавтан нь онцгой физик, химийн шинж чанартай тул хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг. Энэхүү нийтлэлд шинж чанаруудыг нь авч үзэх болно.99.7% хөнгөн цагааны исэлтэй керамик өнгөлгөөний хавтанмөн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд тэдгээрийн чухал үүрэг.
1. 99.7% хөнгөн цагааны исэл агуулсан керамикийн шинж чанар
99.7% хөнгөн цагааны исэл агуулсан керамик нь голчлон α-хөнгөн цагааны исэл (Al₂O₃)-ээс бүрдсэн өндөр цэвэршилттэй материал юм. Үүний гол шинж чанарууд нь:
Өндөр цэвэршилт:99.7% хөнгөнцагааны ислийн агууламж нь хагас дамжуулагчийн процесст бохирдлын эрсдлийг бууруулж, химийн тогтвортой байдлыг хангадаг.
Өндөр температурын эсэргүүцэл:1600°C-аас дээш температурт тогтвортой тул диффуз, исэлдэлт, химийн ууршилт (ХУТ) зэрэг өндөр температурын процессуудад тохиромжтой.
Зэврэлтээс хамгаалах чадвар:Хүчил, шүлт болон идэмхий хийд тэсвэртэй бөгөөд сийлбэр болон цэвэрлэгээний явцад гүйцэтгэлийн тогтвортой байдлыг хадгалдаг.
Өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй байдал:Онцгой хатуулаг нь удаан хугацаагаар ашиглах үед элэгдэл багатай байхаас гадна ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.
Дээд зэргийн тусгаарлагч:Маш сайн цахилгаан тусгаарлагч шинж чанар нь цахилгаан тусгаарлалт шаарддаг орчинд тохирно.
2. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд хэрэглэх нь
99.7% хөнгөн цагаан исэл агуулсан керамик өнгөлгөөний хавтан нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд гол үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд үүнд:
Ваферын боловсруулалт:Литографи, сийлбэр, нимгэн хальсан хуримтлалын үед вафлиг бэхлэх, дэмжихэд ашигладаг бөгөөд өндөр температурт болон идэмхий орчинд тогтвортой байдлыг хангадаг.
Өндөр температурын процессууд:Диффузийн зуух болон CVD тоног төхөөрөмжийн дулааны цочролыг тэсвэрлэж, вафлийн хэв гажилтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгална.
Сийлбэр ба цэвэрлэгээ:Зэврэлтээс хамгаалах чадвар нь хүчтэй хүчил эсвэл шүлтийг оролцуулан плазмын сийлбэр болон нойтон цэвэрлэгээний процесст бат бөх чанарыг баталгаажуулдаг.
Сав баглаа боодол ба туршилт:Чип савлах, турших тогтвортой платформыг бий болгож, үйл явцын нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.
3. Давуу талууд ба бэрхшээлүүд
99.7% хөнгөн цагаан исэл агуулсан керамик өнгөлгөөний хавтангийн давуу талууд нь өндөр цэвэршилт, дулааны тогтвортой байдал, зэврэлтээс хамгаалах чадварт оршдог бөгөөд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг хангадаг. Гэсэн хэдий ч бэрхшээлүүд нь нарийн төвөгтэй үйлдвэрлэлийн процесс, өндөр өртөг, гадаргуугийн тэгш байдал, хэмжээст нарийвчлалын хатуу шаардлага зэрэг нь үйлдвэрлэлд техникийн саад тотгор учруулдаг.
4. Ирээдүйн төлөв
Хагас дамжуулагчийн технологи хөгжихийн хэрээр керамик тавиурын гүйцэтгэлийн шаардлага улам бүр нэмэгдэх болно. Ирээдүйн хөгжил нь дараагийн үеийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хэрэгцээг хангах дулаан дамжуулалт, механик бат бөх чанар, өртгийн үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд материалын өөрчлөлт, үйлдвэрлэлийн процессыг оновчтой болгоход анхаарлаа төвлөрүүлж магадгүй юм.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 3-р сарын 7