Чемшунхөнгөн цагааны ялтас өнгөлгөөний хавтан/Эргэлтийн ширээ нь өндөр цэвэршилттэй 99.7-99.9% хөнгөн цагаан ислээр хийгдсэн. Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамик нь вафли өнгөлөхдөө онцгой хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй бөгөөд удаан хугацааны турш гадаргуугийн хэлбэрээ сайн хадгалдаг. Үүнийг PIBM-ээр хэлбэржүүлдэг. Энэ нь хосгүй дулааны болон хэмжээст тогтвортой байдал, хүнд микрочип боловсруулах тоног төхөөрөмжийн орчинд тэсвэртэй тул хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн гишүүн юм.
Химийн-механик хавтгайжуулалт (ХМП) буюу Химийн-механик өнгөлгөө гэж нэрлэгддэг энэ технологи нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн үйлдвэрлэлийн процесст хэрэглэгддэг технологи юм. Энэ нь боловсруулалтын явцад цахиурын вафли эсвэл бусад суурь материалыг тэгшлэхийн тулд химийн зэврэлт болон механик хүчийг ашигладаг.
CMP тоног төхөөрөмжийг голчлон өнгөлөх хэсэг болон цэвэрлэх хэсэг гэсэн хоёр хэсэгт хуваадаг. Өнгөлгөөний хэсэг нь 4 хэсгээс бүрддэг бөгөөд үүнд 3 өнгөлөх эргэдэг тавцан болон вафлийг ачаалах, буулгах модуль багтдаг. Цэвэрлэх хэсэг нь вафлийг цэвэрлэж, хатааж, вафлийг "хатах" үйлдлийг гүйцэтгэдэг. Өнгөлгөөний бүх тоног төхөөрөмжид хөнгөн цагааны исэл керамик нь чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
Хөнгөн цагааны исэл бүхий керамикийг ихэвчлэн өндөр цэвэршилт, өндөр химийн бат бөх чанар, гадаргуугийн хэлбэр, барзгар байдлыг сайн хянах шаардлагатай вафлийн өнгөлгөөний диск бэлтгэхэд ашигладаг.
Chemshun 99.7% Al2O3 керамик нунтаглах диск нь дэвшилтэт керамик материалаар хийгдсэн бөгөөд энэ нь янз бүрийн материалыг нарийн нунтаглах, ялангуяа вафли, керамик, шил зэрэг хэврэг материалыг нунтаглахад тохиромжтой. Манай керамик нунтаглах дискийг янз бүрийн нунтаглах, өнгөлөх загварын дагуу өөр өөр хэмжээтэй болгож болно.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 5-р сарын 30